XPS-7 독성가스 측정기
Semiconductor Gas Detector
01. 용도
* 검지 대삳 가스: 독성가스/반도체재료, 일산화탄소
* 반도체 공장 등 독성 가스를 주로 사용하는 현장에서, 가스 누출 검사 및 농도 측정에 이용.
* 가스 누출 검사 및 농도 측정에 이용.
02. 특징
* 가스에 맞게 센서 유닛 교환이 가능하며, 1대로 다양한 반도체 재료 가스를 검지 가능.
* 카세트식 센서 유닛이므로 가스 검지기에 교정이 불필요, 유지보수 시간과 비용 절감.
* 1.3 Kg의 무게로 초 소형, 경량 타입
* 가스 농도의 변화에 의해 경보음의 스피드가 서서히 변화하고 고농도가 되면 연속음으로 알려주기 때문에 가스누출 장소의 발견이 용이.
03. 선택가능가스
아르 신 【AsH3】, 암모니아 【NH3】, 일산화탄소 【CO】, 산화 질소 【NO】, 염화수소 【HCI】, 염소 【Cl2】, 오존 【O3】, 삼 불화 염소 【ClF3】, 디클로로 실란 【SiH2Cl2】, 디 실란 【Si2H6】, 디보 란 【B2H6】, 브롬화 수소 【HBr】, 셀렌 화수소 【H2Se】, 이산화황 【SO2】, 이산화질소 【NO2】, 반도체 제조 가스, 불산 [HF], 불소 【F2】, 포스 핀 【 PH3】, 게르만 【GeH4】, 실란 【SiH4】, 황화수소 【H2S】