XP-703DⅢ 반도체 재료 가스 탐지기
XP-703DIII PORTABLE GAS DETECTORS
01. 용도
* 반도체 공장등 독성 가스를 사용하는 현장에서의 가스 누출 검사에 이용
* 수소 관련 설비의 보안에 이용
02. 특징
* 반도체 재료 가스 미량 누출 검지 가능
* 가스 농도의 변화에 의해, 경보음(단속음)의 스피드가 서서히 변화하고 고농도가 되면 연속음으로 알려주기 때문에 가스 누출 장소의 발견이 용이
* 한대로 다양한 반도체 재료가스(아르신, 포스핀, 시보란, 실란, 수소등)에 이용
* 기존 제품보다 대폭 소형, 경량화를 실현. 한손에 쏙 들어오는 컴팩트한 바디
* 전지 잔량 및 펌프 상태 등, 기기의 상태를 손쉽게 알수 있도록 LCD 화면 탑재.
* 알람 램프를 정면과 바닥면 2곳에 탑재하여, 작업중에도 경보 알람이 용이.
* 보호 등급IP22(JIS C 0920)상당 ※보호케이스 장착 시
03. 지정 가능 가스
* 아르신[AsH3], 디클로로 실란[SiH2CI2], 디보란[B2H6], 수소[H2], 반도체 재료 가스, 포스핀[PH3], R407C, R410A