PS-7 반도체 가스감지기
PS-7 GAS DETECTION AND ALARM SYSTEMS
특징
* 센서 유닛의 교환에 의하여 다양한 종류의 가스를 한 대로 검지할 수 있는 반도체 재료 가스 용 가스검지부.
* 센서 유닛은 교정이 완료된 상태로 배송되기 떄문에 현장에서의 가스 교정이 불필요. 또한 센서 유닛 교환은 별도의 공구가 필요없는 간편 구조
* 소형 및 경량의 콤팩트한 설계
* LCD 표시에서 가스 농도, 경보 상태, 에러 메시지를 알기 쉽게 표시
* 샘플링 유량의 자동 제어 기능 탑재
* 설정과 다른 센서 유닛이 삽입된 경우 이상을 알리는 센서 유닛의 오삽입 방지 기증 탑재
* PDA를 연결함으로써 검지부 내에 축적된 데이터의 처리가 가능
* 컨버터 유닛(옵션)사용으로 NF3 및 CCL2의 검지가 가능
* CE 규격적합
* SEMI 규격적합
